Optimisation et intégration de couches minces de SnO (Pd) sensibles au CO obtenues par dépôt chimique en phase vapeur à partir d'un aérosol

L'oxyde d'étain et son utilisation comme capteur de gaz -- Marché des capteurs de gaz -- Propriétés physiques du SnO2 -- Interaction gaz SnO2 -- Capteurs semi-conducteurs à base de SnO2 -- Objectifs du projet et contributions apportées -- Procédé de dépôt et techniques de caractérisation -- Procédé de dépôt de l'élément sensible -- Techniques de caractérisation -- Propriétés chimiques et physiques des couches minces de SnO2 pures et dopées au palladium -- Aspect des couches minces de SnO2 pures et dopées au Pd -- Croissance des couches minces de SnO2 pure et dopées (Pd) -- Composition -- Texture et microstructure -- Propriétés électriques -- Application des couches minces de SnO2 dopées au palladium comme capteur de gaz -- Conductance en fonction de l'atmosphère gazeuse en régime stationnaire -- Conductance en fonction de l'atmosphère gazeuse en régime dynamique -- Effet des recuits sur la sensibilité au CO -- Stabilité de la réponse dans le temps -- Sélectivité -- Réalisation d'un capteur de gaz intégré -- Capteur sans membranes -- Structure avec membranes -- Procédure pour la fabrication de capteurs de gaz intégrés à base de SnO2 avec membrane

Quantitative thermal microscopy using thermoelectric probe in passive mode

International audienceA scanning thermal microscope working in passive mode using a micronic thermocouple probe is presented as a quantitative technique.We show that actual surface temperature distributions of microsystems are measurable under conditions for which most of usual techniques cannot operate. The quantitative aspect relies on the necessity of an appropriate calibration procedure which takes into account of the probe-to-sample thermal interaction prior to any measurement. Besides this consideration that should be treated for any thermal contact probing system, the main advantages of our thermal microscope deal with the temperature available range, the insensitivity to the surface optical parameters, the possibility to image DC, and AC temperature components up to 1 kHz typically and a resolution limit related to near-field behavior

A micro gas preconcentrator with improved performance for pollution monitoring and explosives detection

International audienceThis paper presents the optimization of a micro gas preconcentrator based on a micro-channel in porous and non-porous silicon filled with an adequate adsorbent. This micro gas preconcentrator is both applicable in the fields of atmospheric pollution monitoring (Volatil organic compounds—VOCs) and explosives detection (nitroaromatic compounds). Different designs of micro-devices and adsorbent materials have been investigated since these two parameters are of importance in the performances of the micro-device. The optimization of the device and its operation were driven by its future application in outdoor environments. Parameters such as the preconcentration factor, cycle time and the influence of the humidity were considered along the optimization process. As a result of this study, a preconcentrator with a total cycle time of 10 min and the use of single wall carbon nanotubes (SWCNTs) as adsorbent exhibits a good preconcentration factor for VOCs with a limited influence of the humidity. The benefits of using porous silicon to modify the gas desorption kinetics are also investigated

Micro gas preconcentrator in porous silicon filled with a carbon absorbent

International audienceThis paper presents the development of a gas preconcentrator based on a micro-channel in porous silicon filled with carbon nanopowders by a micro-fluidic process. The particularity of this device is its applicability in the fields of atmospheric pollution monitoring by targeting VOCS (volatiles organic compounds). Various designs of micro-devices have been investigated and a special focus has been dedicated to the carbon adsorbent. The optimization of the device and its operation were driven by its future application in outdoor environments. The benefits of using porous silicon to ease the fixing of the carbon absorbent in micro-channels and to modify the gas desorption kinetic are also investigated. Results on a device based on a carbon adsorbent powder filled in a porous silicon micro-channel for benzene preconcentration are reported

Développement d'un pré-concentrateur miniaturisé en technologie silicium pour la détection de substances chimiques à l'état de traces

International audienceL'objectif principal de cette étude est le développement d'un dispositif de pré-concentration basé sur une technologie de microréacteur en silicium. Les applications visées concernent les systèmes miniaturisés de détection de traces gazeuses, soit en pollution atmosphérique, soit pour la détection d'explosifs. Pour cela, une poudre de carbone est utilisée comme matériau adsorbent, et les dispositifs ont été testés sous benzène. Les composants sont constitués de micro-canaux en silicium obtenus par gravures DRIE. Ils sont équipés de capillaires métalliques et d'un micro-chauffage. Une partie de l'étude porte sur le dépôt par méthode fluidique de la poudre de carbone dans les micro-canaux. Un intérêt particulier de l'étude concerne l'utilisation de silicium poreux pour augmenter la quantité de carbone déposé. Les tests de faisabilité sous benzène permettent de vérifier l'effet de pré-concentration recherché

Inkjet Printed Conductive Polymer Electrodes for AC Electroosmosis

Standalone integrated microfuidic systems require pumping elements. Electro-osmosis (EO) is an e"ective method of actuating liquids [1,2]. ACEO exploits much lower potentials and, by using alternating fields, overcomes the issues of electrolysis and gas generatio